நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு (NF3) உயர் தூய்மை வாயு
அடிப்படை தகவல்
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
இந்த பொருள் என்ன?
நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு (NF3) என்பது அறை வெப்பநிலை மற்றும் வளிமண்டல அழுத்தத்தில் நிறமற்ற மற்றும் மணமற்ற வாயு ஆகும். இது மிதமான அழுத்தத்தின் கீழ் திரவமாக்கப்படலாம். NF3 சாதாரண நிலைமைகளின் கீழ் நிலையானது மற்றும் எளிதில் சிதைவதில்லை. இருப்பினும், அதிக வெப்பநிலை அல்லது சில வினையூக்கிகள் முன்னிலையில் அது சிதைந்துவிடும். வளிமண்டலத்தில் வெளியிடப்படும் போது NF3 அதிக புவி வெப்பமடைதல் திறனை (GWP) கொண்டுள்ளது.
இந்த பொருளை எங்கே பயன்படுத்துவது?
எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் துப்புரவு முகவர்: செமிகண்டக்டர்கள், பிளாஸ்மா டிஸ்ப்ளே பேனல்கள் (PDPகள்) மற்றும் பிற மின்னணு கூறுகளின் மேற்பரப்பில் இருந்து ஆக்சைடுகள் போன்ற எஞ்சியிருக்கும் அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கு NF3 ஒரு துப்புரவு முகவராக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த மேற்பரப்புகளை சேதப்படுத்தாமல் திறம்பட சுத்தம் செய்யலாம்.
குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில் பொறித்தல் வாயு: குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் NF3 ஒரு செதுக்கல் வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO2) மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4) ஆகியவற்றை பொறிப்பதில் இது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும், இவை ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் புனையலில் பயன்படுத்தப்படும் பொதுவான பொருட்களாகும்.
உயர் தூய்மையான ஃவுளூரின் சேர்மங்களின் உற்பத்தி: NF3 என்பது பல்வேறு ஃவுளூரின் கொண்ட சேர்மங்களின் உற்பத்திக்கான ஃவுளூரின் மதிப்புமிக்க ஆதாரமாகும். இது ஃப்ளோரோபாலிமர்கள், புளோரோகார்பன்கள் மற்றும் சிறப்பு இரசாயனங்கள் உற்பத்தியில் முன்னோடியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளே தயாரிப்பில் பிளாஸ்மா உருவாக்கம்: திரவ படிகக் காட்சிகள் (LCDகள்) மற்றும் PDPகள் போன்ற பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளேக்களின் உற்பத்தியில் பிளாஸ்மாவை உருவாக்க மற்ற வாயுக்களுடன் NF3 பயன்படுத்தப்படுகிறது. பேனல் புனையலின் போது படிவு மற்றும் செதுக்கல் செயல்முறைகளில் பிளாஸ்மா அவசியம்.
இந்த பொருள்/தயாரிப்பின் பயன்பாட்டிற்கான குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள் மற்றும் விதிமுறைகள் நாடு, தொழில் மற்றும் நோக்கத்தின் அடிப்படையில் மாறுபடலாம். எப்பொழுதும் பாதுகாப்பு வழிகாட்டுதல்களைப் பின்பற்றி, எந்தவொரு பயன்பாட்டிலும் இந்தப் பொருள்/தயாரிப்பைப் பயன்படுத்துவதற்கு முன்பு ஒரு நிபுணரை அணுகவும்.
